Atomy składają się z dodatnio naładowanego jądra otoczonego chmurą ujemnie naładowanych elektronów . Czasami atomy mogą zyskać lub stracić elektronów , co prowadzi do ich nabycia netto ładunek dodatni lub ujemny . Atom z ładunkiem netto jest znany jako jonu . Osoczu jest chmura jonów , a te mogą mieć wiele zastosowań w przemyśle przetwórczym półprzewodnikowa . Osocza mogą być produkowane wewnątrz komory próżniowej wypełnionej argonem za pomocą zasilacza , który generuje częstotliwości radiowej (RF) radiation.Things musisz Foto komorę próżniową RF z regulatorem przepływu argonu masa
pompa rotacyjna Foto pompa turbo
RF zasilacz
dopasowania sieci radiowych RF Łódź 2 kable
Pokaż więcej instrukcji
1
Włączyć pompy rotacyjnej i czekać na ciśnienie do dostać się do 10 ^ -3 milibar . Włączyć pompę turbo , i czekać na to na ziemi się . Poczekaj, aż ciśnieniem około 10 ^ -6 mbar osiągnięciu .
2
Połącz kabel RF pomiędzy zespołem dopasowania RF i zasilania RF. Podłącz inny kabel pomiędzy jednostką dopasowania RF , a komora próżniowa gniazdo elektrody RF .
3
Częściowo bliskozaworu pompy turbo . Włączyć sterownik przepływu masy Argon i ustawić ciśnienie 15 mbar . Włączyć zasilacz RF i dopasowanie urządzenia. Ustaw naprzód moc 50 watów. Jednostka dopasowanie słychać jak próbuje zminimalizować odbicie mocy RF . Gdyodbicie energii jest mniejsza niż 1 procent mocy wyjściowej zwiększenia mocy wyjściowej do około 150 watów. Plazmy w komorze powinna świecić i być widoczne , choćwidok portów komory . Powoli zmniejszyć moc do przodu z powrotem do 50 watów. Powstajeplazma para RF . Imperium